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典型應用：精密制造、計量檢測、變形監測、顯微鏡、材料測試、震動檢測。
被測物體與傳感器各自作為一個平板電極。通過給傳感器一個持續穩定的交流信號，其電壓的振幅變化與傳感器到被測物體之間的距離成正比。交流信號經過解調，可以測出位移量。電容式位移傳感器具有信噪比大，靈敏度高，頻響寬，非線性小，精度穩定性好，無損耗等特點。
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